表面処理技術の紹介

TaCコート

イビデン TaCコートは、等方性黒鉛基材の表面に緻密な炭化タンタル膜を化学蒸着法によって被覆した製品です。従来の等方性黒鉛材料の優れた諸特性をそのまま維持しながら、炭化タンタルの持つ高い化学安定性の特徴を付加した高純度、高気密性、高機能性の炭素複合材料です。

表面写真

断面写真

TaCコートの特徴

  1. 純度が高い。
    • 高純度の原料を用いて化学気相蒸着法で成膜しています。
  2. 気体不浸透性である。
    • CVD法で成膜した緻密な膜である。
  3. パーティクル発生が無い。
    • 全ての表面が膜で覆われているため、黒鉛粉の脱落を防止することが出来ます。
  4. 耐食性が高い
    • 高温下、HCIやNH3雰囲気での耐久性が優れます。
    • 酸、アルカリに対し耐久性があります。
  5. 機械的強度が高い。
    • 高硬度、高強度、耐磨耗性に優れます。
  6. 耐熱衝撃性に優れる。
    • 高温状態（700℃）からの水中投下でも剥離しません。
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