表面処理技術の紹介｜イビデン株式会社

表面処理技術の紹介

イビデンの表面処理技術

お客様のご要求に応じて、各種表面処理を施した黒鉛製品をご提供致します。
イビデンの表面処理技術は単結晶製造装置、エピタキシャル製造装置、プラズマCVD製造装置、イオン注入用装置部材など様々な用途に使用され、高い評価を得ております。

表面処理比較

膜質	製法	膜厚		機能
膜質	製法	表面	含浸層	機能
パイロカーブ熱分解炭素	CVD法	40μm	無し	気体不浸透性・発塵防止・超高純度・耐反応性
TaＣコート炭化タンタル	CVD法	20μm	無し	気体不浸透性・発塵防止・超高純度・耐反応性
SiＣコート炭化珪素	CVD法	50,100μm	無し	気体不浸透性・発塵防止・超高純度・耐反応性
セラカーブ炭化珪素	CVR法（反応転化）	無し	0.5～1mm	耐酸化性・耐磨耗性・耐食性
GCコートガラス状炭素	樹脂塗布含浸炭化	2～3μm	＜ 1mm	発塵防止・高純度
VGI ガラス状炭素	減圧・加圧含浸炭化	＜ 0.5μm	＜ 6mm	発塵防止・高純度

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