表面処理技術の紹介

GCコート

イビデン GCコートは、黒鉛基材表面及び内部にガラス状炭素を 被覆・含浸させたことを特徴とするガラス状炭素被覆黒鉛材料です。 通常の黒鉛材と比較して、カーボンダストの発生抑制、耐磨耗性の 向上等多くの利点を有する製品です。

製造プロセスの概要

製造プロセスの概要図

GCコートの特徴

  1. 表面被覆だけでなく基材内部にも含浸しているため、基材とのアンカー効果に優れ、繰り返しの加熱によっても剥離・クラックの発生が無く製品の長寿命化を可能にします。
  2. 黒鉛よりも硬度の高いガラス状炭素で被覆されているために、耐磨耗性に優れ、カーボンダストの発生が無く製品汚染を減少させます。
  3. ガラス状炭素の含浸効果により、内部からのガス放出がなく、また外部からのガス吸着を防止できます。
  4. 金属不純物が極めて少なく、高純度であるため、半導体プロセス用途にも使用できます。
  5. 液相コートであるため、各種形状に対応でき、また内部含浸コートが主であるため製品の寸法精度を変化させません。